銅配線による多層配線の構造(左)とオールカーボンによる多層配線の構造(右)。オールカーボンの多層配線では、配線に多層グラフェン、ビアにカーボンナノチューブを使う。カリフォルニア大学サンタバーバラ校がIEDMで2017年12月に発表した論文から
