銅(Cu)配線へのキャップ層の導入によるエレクトロマイグレーション寿命の変化。窒化炭化シリコン(SiCN)のキャップ層に比べ、コバルト(Co)のキャップ層では寿命が10倍に、Cu配線周囲をコバルトで囲んだキャップ層では寿命が1,000倍に伸びている。IBMが2017年12月のIEDMで発表した論文(講演番号14.1)から
