EUVリソグラフィ技術の微細化ロードマップ(右端のグラフ)。ASMLが2016年10月31日に開催したアナリスト向け説明会「Analyst Day」で示した講演スライドから

EUVリソグラフィ技術の微細化ロードマップ(右端のグラフ)。ASMLが2016年10月31日に開催したアナリスト向け説明会「Analyst Day」で示した講演スライドから