NA向上のロードマップ。「6M」とあるのは、6枚の反射鏡で構成する投影光学系、「8M」とあるのは、8枚の反射鏡で構成する投影光学系のこと。国際学会「2009 EUVL Symposium」でCarl Zeiss SMTが発表したスライドから

NA向上のロードマップ。「6M」とあるのは、6枚の反射鏡で構成する投影光学系、「8M」とあるのは、8枚の反射鏡で構成する投影光学系のこと。国際学会「2009 EUVL Symposium」でCarl Zeiss SMTが発表したスライドから