ストレスの極大点と電流密度の極大点が異なり、ストレスの極大点から推定した寿命が電流密度から推定した寿命よりも短くなったモデル(名称は「Common-via out+Res_2」)を試作し、エレクトロマイグレーション不良(ボイド)の発生を顕微鏡で観察した例。ストレスの極大点であるLxとLyの境界付近に巨大なボイドが見られる。※IRPS2016の講演論文から引用した

ストレスの極大点と電流密度の極大点が異なり、ストレスの極大点から推定した寿命が電流密度から推定した寿命よりも短くなったモデル(名称は「Common-via out+Res_2」)を試作し、エレクトロマイグレーション不良(ボイド)の発生を顕微鏡で観察した例。ストレスの極大点であるLxとLyの境界付近に巨大なボイドが見られる。※IRPS2016の講演論文から引用した