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試作した配線モデルにおける抵抗値の測定結果。※IRPS2016の講演論文から引用し、説明書きを日本語に意訳した
半導体の発展を支えたIRPSの44年
2006年3月29日
連載福田昭のセミコン業界最前線
金属配線不良の兆候を早期に検出する手法をimecなどが開発
2016年5月2日
福田昭のセミコン業界最前線
見えてきた5nm世代以降の次世代配線技術と究極の配線技術
2017年12月15日