また、プロセスルールが1xnm台になると、フォトマスクの幅が狭くなり、より波長の短い光を使わないと、露光できなくなってしまう

また、プロセスルールが1xnm台になると、フォトマスクの幅が狭くなり、より波長の短い光を使わないと、露光できなくなってしまう