ところが、プロセスルールが1xnm台になると、セルとセルの間隔が狭くなり、干渉を起こし、データが壊れる恐れがある

ところが、プロセスルールが1xnm台になると、セルとセルの間隔が狭くなり、干渉を起こし、データが壊れる恐れがある