ホーニーの特許「Method of Manufacturing Semiconductor Devices」(特許番号3025589)および「Semiconductor Device」(特許番号3064167)に描かれた図面の例(いずれの特許も同じ図面を使用)。シリコン酸化膜をマスクと保護膜に利用する

ホーニーの特許「Method of Manufacturing Semiconductor Devices」(特許番号3025589)および「Semiconductor Device」(特許番号3064167)に描かれた図面の例(いずれの特許も同じ図面を使用)。シリコン酸化膜をマスクと保護膜に利用する