試作した強誘電体キャパシタの概要(講演番号6.4)。キャパシタの構造(右上)とPED(Precession Electron Diffraction(プレセッション電子線回折))による結晶方位の解析結果(左上)、分極反転サイクル寿命特性(左下)、酸素欠陥(Vo)の形成エネルギー(右下)。2022年12月5日(米国時間)にIEDMの実行委員会が開催した報道関係者向け説明会の配布資料から抜粋した
