VLSIシンポジウムで、2nm以降のデバイスを支えるFETや配線、メモリなどの革新技術(6/32)

デバイス・プロセス技術分野の投稿論文数の推移(2015年～2022年)。2022年5月31日(米国時間)に米国のVLSIシンポジウム実行委員会がオンライン開催した報道機関向け説明会の発表スライドから