ミストCVD法による酸化ガリウム(α-Ga2O3)ショットキーバリアダイオード(SBD)の作製手順。サファイアのウェハは500℃未満に加熱する。FLOSFIAの2015年10月26日付けニュースリリースから

ミストCVD法による酸化ガリウム(α-Ga2O3)ショットキーバリアダイオード(SBD)の作製手順。サファイアのウェハは500℃未満に加熱する。FLOSFIAの2015年10月26日付けニュースリリースから