酸化ガリウムの物性定数。アルファ相とベータ相を比較すると、理論的にはアルファ相の性能が高い。出典 : 四戸孝、「ミストCVD法による各種薄膜形成技術」、『THE CHEMICAL TIMES』、2019年、no.4(通巻254号)、pp.8-11 (発行元 : 関東化学)

酸化ガリウムの物性定数。アルファ相とベータ相を比較すると、理論的にはアルファ相の性能が高い。出典 : 四戸孝、「ミストCVD法による各種薄膜形成技術」、『THE CHEMICAL TIMES』、2019年、no.4(通巻254号)、pp.8-11 (発行元 : 関東化学)