配線工程に作り込んだ強誘電体キャパシタ(直径600nm)の書き換えサイクル特性。10の11乗サイクルまで確認した。この時点で劣化や絶縁破壊などは生じていない。IEDM 2019の発表論文から(論文番号15.7)

配線工程に作り込んだ強誘電体キャパシタ(直径600nm)の書き換えサイクル特性。10の11乗サイクルまで確認した。この時点で劣化や絶縁破壊などは生じていない。IEDM 2019の発表論文から(論文番号15.7)