Western Digital(WD)が2019年12月8日に国際学会IEDMのショートコースで公表した3D NANDフラッシュメモリの製造工程に関するスライド。左から右へ工程が進む。左から3番目が窒化膜(犠牲層)を除去する工程。その次がタングステンなどを埋め込む工程
