EUVスキャナの投影光学系で許容される波面収差のイメージ。NAが0.33の量産用スキャナである「NXE:3300B」に比べると、NAが0.55の「High-NA」光学系では許容可能な波面収差は半分以下になっている。Carl Zeiss SMTが2018年6月に国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから
