投影光学系の寸法模式図。左はNAが0.25の投影光学系、中央はNAが0.33の投影光学系、右はNAが0.55の光学系である。いずれも反射鏡の枚数は6枚で変わらない。NAを高めるにしたがって反射鏡の外形寸法が大きくなるとともに、光路長が延びる。光学系全体の寸法は長く、広く、そして重くなる。Carl Zeiss SMTが2018年6月に国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから
