セルキャパシタのトレンド。左は設計ルールと絶縁膜材料、酸化膜換算膜厚のトレンド。右はキャパシタ電極の形状のトレンド(左から右へ、世代とともに変化)。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから
