セルキャパシタの静電容量の変化(左)とキャパシタ電極のアスペクト比(縦横比)の変化(右)。2009年における静電容量を100%とすると、2012年の段階では約8割を維持していたのが、2014年には約5割へと大きく低下した。しかも以降は、さらに低下する見通しだ。そしてアスペクト比は、2009年を100%とすると、2014年の時点で約2倍に増加している。以降はさらに急速にアスペクト比を上げる必要がある。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから

セルキャパシタの静電容量の変化(左)とキャパシタ電極のアスペクト比(縦横比)の変化(右)。2009年における静電容量を100%とすると、2012年の段階では約8割を維持していたのが、2014年には約5割へと大きく低下した。しかも以降は、さらに低下する見通しだ。そしてアスペクト比は、2009年を100%とすると、2014年の時点で約2倍に増加している。以降はさらに急速にアスペクト比を上げる必要がある。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから