設計ルール(横軸)とメモリセル面積(縦軸)、設計ルールに換算したセル面積(F2の倍数、横軸)のトレンド。バーチカルチャンネル構造のトランジスタに移行できれば、メモリセル面積の縮小を継続できる。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから

設計ルール(横軸)とメモリセル面積(縦軸)、設計ルールに換算したセル面積(F2の倍数、横軸)のトレンド。バーチカルチャンネル構造のトランジスタに移行できれば、メモリセル面積の縮小を継続できる。SamsungがIEDM 2018のショートコースで講演したスライドから