半導体メモリに対する高い関心を証明した初めての日本開催(6/7)

ワード線薄膜と絶縁薄膜の積層ペアを薄くする(ワード線と絶縁膜を薄くする)ことによる技術的な課題。ショートコースの講演スライドから