折れ曲がった線を含む回路パターンの加工にEUVリソグラフィを導入した効果。上の写真はEUVリソグラフィによる加工パターン、下の写真はArF液浸リソグラフィとマルチパターニングを組み合わせたときの加工パターン。EUVリソグラフィでは折れ曲がった部分が明瞭に解像できていることがわかる。ただし、縮尺を公表していないことに注意されたい。VLSIシンポジウム実行委員会が報道機関向けに公表した資料から
