3nmロジックの量産を狙うEUVリソグラフィの高NA化技術(10/14)

M6レンズとM5レンズに孔を開けて光線の角度を小さくした光学系。国際学会「2016 EUVL Symposium」でASMLとCarl Zeiss SMTが共同発表したスライドから