プロセスルールが1xnm台に突入したことによって、「セルとセルの間の干渉」と「露光プロセスの光源選びの困難さ」という問題が出てきた

プロセスルールが1xnm台に突入したことによって、「セルとセルの間の干渉」と「露光プロセスの光源選びの困難さ」という問題が出てきた