4μmに薄くした直径300ミリのシリコンウェハの厚さの分布。横軸はウェハ中心からの距離。縦軸はウェハの厚さ。厚さの変動値はおよそ1μm以内に収まっている。右上はウェハの写真。ウェハがきわめて薄いので、光が透過して見えている
