【ISSCC 2011レポート】 低コスト64Gbit大容量NANDフラッシュの実現技術(8/8)

直径200mm(8インチ)のウェハに4Mbitチップを作り込んだ結果。左がウェハでの良品と不良品の分布。右はセット状態とリセット状態の抵抗値の分布