リソグラフィ装置(露光システム)と光波長(光源)の変遷。解像度(RあるいはCD)は波長に比例し、光学系の開口数(NA)に反比例する。波長436nmのG線から、波長193nmのArFレーザーまでは光学系をレンズ(ガラス)で構成していた。波長13.5nmのEUVレーザーではレンズ(ガラス)が使えず、多層膜の反射鏡をレンズにする
