2025年のシステム販売実績比率(EUVシステム、計測・検査システム、DUVシステム)。左からシステム販売台数、システム販売金額、世界地域別の販売金額比率。EUVシステムは台数では9%と少ないものの、金額では48%と半分近くを占める
