微細化の限界と発熱の課題にどう向き合う？imecが2040年までの半導体技術を指し示す(5/15)

2018年～2046年の半導体ロジックの技術ロードマップ。FET技術と、ウェハ裏面の要素技術を併記した。imecによるIRPS 2026の基調講演スライド(講演番号KN3)から