ゲート電流(リーク電流)とストレス時間(累積時間)との関係。高誘電率膜の品質はプロセス条件に大きく依存する。最適化されていないプロセス条件(番号1～番号3)では、リーク電流が増加していく。リーク電流の初期値と高誘電率膜の品質は関係しないことに注意されたい
