PBTI特性(しきい電圧の変化)とSILCの関係。最適化していないプロセス条件(プロセスA)ではしきい電圧の変動とSILCの増大が起こる。最適化したプロセス条件(プロセスB)では、両者を抑えることができた

PBTI特性(しきい電圧の変化)とSILCの関係。最適化していないプロセス条件(プロセスA)ではしきい電圧の変動とSILCの増大が起こる。最適化したプロセス条件(プロセスB)では、両者を抑えることができた