ソニーグループによる最近のSPAD開発(その3)。2021年12月に画素ピッチが6μmと狭いSPADアレイセンサー技術を国際学会IEDM2021で発表。過去にCMOSイメージセンサーで開発した要素技術「PSD(Pyramid Surface for Diffraction)」を採用して検出効率を高めた