EUV露光技術の導入がもたらす利益(左)と、露光用マスク枚数の増加トレンド(右)。図面はVLSI技術シンポジウムの講演スライド(講演番号THL.1)から引用した

EUV露光技術の導入がもたらす利益(左)と、露光用マスク枚数の増加トレンド(右)。図面はVLSI技術シンポジウムの講演スライド(講演番号THL.1)から引用した