「SDM765/765G」の製造に使われた要素技術と加工寸法の概要。図面はVLSI技術シンポジウムの講演スライド(講演番号THL.1)から引用した

「SDM765/765G」の製造に使われた要素技術と加工寸法の概要。図面はVLSI技術シンポジウムの講演スライド(講演番号THL.1)から引用した