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LPAAT法を用いて2種類のGaN種結晶(HVPE、SCAAT)上に作製された2インチサイズのGaN単結晶基板(左)と、結晶構造特性およびフォトルミネセンススペクトル(右)
東北大ら、窒化ガリウム結晶内にある2.2億分の1個以下の炭素不純物を検出する手法
2019年12月6日