東北大ら、大型高純度な窒化ガリウム単結晶基板の生成技術
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GaNを用いた縦型パワートランジスタの模式図
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東北大ら、窒化ガリウム結晶内にある2.2億分の1個以下の炭素不純物を検出する手法
2019年12月6日
