読み出し動作におけるワード線の電圧波形。2プレーンから16プレーンにサブアレイの分割数を増やすことでワード線を短くし、ワード線の負荷容量を減らした。その結果、ワード線の遅延時間(レイテンシ)を5%(20分の1)に短縮できた。キオクシアとWDがISSCC 2020で共同発表したスライド(講演番号13.5)から
