「オールジャパン」で実用化を急ぐ「酸化ガリウム」の研究開発(8/26)

ミストCVD法による酸化ガリウム(α-Ga2O3)ショットキーバリアダイオード(SBD)の作製手順。FLOSFIAの2015年10月26日付けニュースリリースから