imec、超大容量メモリを製造可能な3D NAND技術で強誘電体セルを試作(1/9)

「メモリスルーホール技術」あるいは「パンチ・アンド・プラグ技術」の概要。東芝が、2017年5月に開催された国際メモリワークショップ(IMW)のチュートリアルで講演した資料から