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EUV露光技術による生産が行なわれる韓国内のS3 Fab
Samsung、FinFETからGAA FETへの移行を3nm世代へ後ろ倒し
2018年5月24日
Samsung、2020年にEUV露光による半導体量産を開始
2018年9月4日
福田昭のセミコン業界最前線
完成に近づいた、SamsungのEUVリソグラフィ採用7nm半導体量産技術
2018年6月29日
Samsung、EUVリソグラフィ採用の7nm FinFET技術を公表
2017年6月8日
EUV露光による先端ロジックと先端DRAMの量産がついにはじまる
2018年12月25日
