銅配線の微細化に伴う最大の課題を解決する、ナノ秒パルスのレーザーアニール技術(2/6)

銅結晶粒の寸法の分布。赤色は比較用の銅配線。青色はナノ秒レーザーアニール処理をした銅配線。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した