銅配線の微細化に伴う最大の課題を解決する、ナノ秒パルスのレーザーアニール技術(1/6)

ナノ秒パルスのレーザーを使ったアニール技術によって銅配線の性能を向上させた結果のまとめ。GLOBALFOUNDRIESがVLSIシンポジウムで発表した論文から引用した