最先端ロジックにおける金属配線の推移。約20年前に、アルミニウム(Al)の時代から、銅(Cu)とタングステン(W)の時代へと移行した。今後はコバルト(Co)の時代へと移り変わって行く

最先端ロジックにおける金属配線の推移。約20年前に、アルミニウム(Al)の時代から、銅(Cu)とタングステン(W)の時代へと移行した。今後はコバルト(Co)の時代へと移り変わって行く