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最先端ロジックにおける金属配線の推移。約20年前に、アルミニウム(Al)の時代から、銅(Cu)とタングステン(W)の時代へと移行した。今後はコバルト(Co)の時代へと移り変わって行く
福田昭のセミコン業界最前線
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連載福田昭のセミコン業界最前線
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2016年4月25日
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