ワード線積層数(ワード線薄膜と絶縁薄膜の積層ペア数)の増加による技術的な課題。ショートコースの講演スライドから

ワード線積層数(ワード線薄膜と絶縁薄膜の積層ペア数)の増加による技術的な課題。ショートコースの講演スライドから