FeRAMとDRAMの微細化推移(研究開発レベル)。縦軸の単位はnm。ISSCCとIEDMの発表論文からまとめたもの。なお2009年と2011年、2013年のISSCCではFeRAMの試作チップが発表されたが、いずれも設計ルールは130nmに留まった
