パラメータの分布。緑色の曲線は異常値を検出したウェハ、赤色の曲線は顧客から不良として戻ってきたウェハ、黒色の曲線はそのほかのウェハである。パラメータ曲線のピークとばらつきが大きく異なっていることが分かる

パラメータの分布。緑色の曲線は異常値を検出したウェハ、赤色の曲線は顧客から不良として戻ってきたウェハ、黒色の曲線はそのほかのウェハである。パラメータ曲線のピークとばらつきが大きく異なっていることが分かる