【IEDM 2011レポート】再び活発になってきた大容量相変化メモリの開発競争(9/10)

書き換え寿命特性。左が従来の下部電極構造。10の8乗サイクルを超えるとリセット状態(赤線)の抵抗が急激に低下している。右が今回の下部電極構造。10の9乗サイクルでも劣化は見られない