Intel、3次元トライゲートトランジスタ製造技術を確立
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22nm 3次元トライゲートトランジスタ
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【2002年9月19日】Intel、3次元構造の「トライ・ゲート・トランジスタ」を発表
〜2010年以降もムーアの法則の維持が可能に
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/2002/0919/intel2.htm
【2011年4月13日】【IDF 2011 Beijing 基調講演レポート】Atomプロセッサ向けプロセスルールの展開を前倒し
http://pc.watch.impress.co.jp/docs/news/event/20110413_439211.html