TSMC、半導体の性能を加速する「3DIC研究開発センター」をつくば市に開所(16/16)

クリーンルーム、天井にはAMHSが動き回っており、多くの部分は自動化される。現状ではすべての装置がまだ入っていない状態、年末に向けて本格稼働の予定(写真提供:TSMC)