LC方式で記憶容量が64Gbitの3D NANDフラッシュメモリ。左はシリコンダイ写真。右上はメモリセルストリングの断面を、右下はメモリセルの断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した画像。IMW 2019の論文集から

LC方式で記憶容量が64Gbitの3D NANDフラッシュメモリ。左はシリコンダイ写真。右上はメモリセルストリングの断面を、右下はメモリセルの断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した画像。IMW 2019の論文集から